福建华清电子材料科技有限公司

具有优良的耐热性和优良的导电性和绝缘性，高纯度氮化铝陶瓷可应用于晶圆加热加热器、静电吸盘等。由于这种CTE数据接近硅的产品具有很好的耐等离子体性。此外，AlN精细陶瓷在航空、铁路和新能源汽车、大功率LED、5G通信、电动交通、工业控制等领域作为关键装备部件发挥着的作用。提到国内AlN陶瓷企业，就不得不提氮化铝陶瓷基板供应商福建华清电子材料科技有限公司。我公司成立于2004年，经过多年的产业化研发、生产改进和市场验证，成为家采用铸造法规模化生产AlN陶瓷基板的企业。介绍清华大学新型陶瓷及精细加工国家实验室的科研成果，华清电子材料具有性和优先权，80项专利填补国内行业空白。目前华清氮化铝陶瓷基板产居近我们公司在新产品业务上投入了精力和资源：氮化铝精细陶瓷。近两年来，华清加快人才引进步伐，先后引进博士、硕士10余名，本科人才40余名，技术研发实力大大增强。随着研发设备投入的不断加大，华清现已拥有的陶瓷生产、加工、检测设备，拥有流延、注塑、干压、冷等静压、温等静压等一整套的设备和技术。至此，华清实现了从粉末制备、成型、烧结、机械加工的垂直整合，确保始终如一地提供超出客户期望的产品和服务。同时，精细陶瓷是华清电材推进的项目。精细陶瓷是精密的陶瓷，涉及半导体制造设备、医药、光学、汽车、精密仪器等广泛领域，有助于进一步扩大业务领域和优势。经过多年在AlN行业的技术积累，华清在AlN精细陶瓷领域开辟了一条新赛道。目前国内大部分AlN陶瓷的尺寸精度还停留在尺寸公差0.05mm、平面度0.02mm、表面粗糙度0.6μm的水平。而华清已经开始为国外客户提供更精密的微米级AlN陶瓷产品，如外尺寸公差5μm、内尺寸公差5μm、圆柱度3μm、平面度3μm、粗糙度20nm的产品。值得一提的是，目前只有京瓷等少数国外企业能够生产半导体制造设备用氮化铝陶瓷加热板，如今华清也取得了突破。这种用于在工艺腔室中加热晶圆的加热板具有高导电性和等离子体性，对产品纯度要求高。从粉末到后处理的过程都受到严格控制。华清生产的氮化铝加热板可根据客户需要定制尺寸或特殊形状的产品，实现快速加热和冷却。扫描电镜显示，氮化铝陶瓷晶粒尺寸均匀，热分布均匀，无温差。可应用于半导体设备（PVD、CVD、ETCH、处理器）的关键核心部件。目前，华清生产的精细陶瓷主要有氮化铝和氧化铝陶瓷。产品远销美国、日本、韩国、俄罗斯等国家以及中国台湾等应用：半导体设备、电动车、充电桩、IGBT模块、储能电池、LED和激光设备、5G基站、光通信模块、医疗设施、制冷机组、散热器、加热器、大功率设备、OLED与金属冶炼、热分析仪、研磨设备、传感器、烧结炉设备、陶瓷基板键合铜。无论是AlN陶瓷基板还是精细陶瓷，在我国都属于处于技术和市场初期的新兴产业。行业技术壁垒高，国外企业长期垄断，难以突破。华清近20年的创业之路，所投入的成本和精力是无法估量的，因为做一个始终走在前列的开拓者，需要有大的决心。但是，只有这样敢于担当，始终把增强自身实力放在的企业，才能取得今天的成绩。未来，华清将继续践行“不忘初心，不忘初心”的方针。开发好材料”。以坚强的意志和开拓进取的精神，持续中国氮化铝陶瓷行业高质量发展。为发展成为世界的电子陶瓷材料供应商而不懈努力。